Инспекционный микроскоп для контроля изделий микроэлектроники
Впервые мы рассказываем о работах, которые только еще начинаются. Наши специалисты приступили к разработке принципиально нового в отечественной практике микроскопа для контроля изделий микроэлектроники. Подобные разработки проводились в Белорусии и в Санкт-Петурбурге на ЛОМО в начале 90-ых годов. Затем проектные работы были остановлены. За это время многое изменилось.
Поменялись структурные элементы изделий микроэлектроники, уменьшился их размер, ужесточились критерии оценки. Появились новые приемники оптического изображения. Наработанная элементная база (оптические и оптико-механические узлы) уже не отвечают современным требованиям по светосиле, спектральному диапазону, линейным полям, аберрационным характеристикам. На рисунке представлена принципиальная структурная схема будущего микроскопа.
В настоящее время определена общая компоновка прибора, его габаритные, весовые и другие характеристики. Наши инженеры выпустили чертежи макетного образца для изготовления штатива по методу прототипирования. Произведен габаритный и аберрационный расчет оптической схемы микроскопа, проведены расчеты осветительных, проекционных, наблюдательных систем, а также систем визуализации. Полным ходом идет проектирование элементной оптико-механической базы микроскопа - безрефлексных металлографических объективов, в том числе и короткофокусных.
Пользуясь случаем, приглашаем к сотрудничеству для осуществления данного проекта всех заинтересованных.
Если вам нужен не просто каталог, а профессиональный разговор о задаче, конфигурации и инженерных ограничениях, команда Labor-Microscopes готова подключиться к обсуждению.